測(cè)量精度為±0.1μm。提供亞微米管理環(huán)境。
使用專(zhuān)有技術(shù)的砧座的平穩(wěn)移動(dòng)可以實(shí)現(xiàn)高精度的測(cè)量。
在測(cè)量范圍內(nèi)的任何位置上測(cè)量力恒定。可以防止因工件尺寸差異而導(dǎo)致的測(cè)量誤差。 此外，客戶(hù)可以輕松更改測(cè)量力。